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GB/T 44375-2024《300mm半导体设备装载端口要求》

Requirements for load ports of 300mm semiconductor equipment

标准类型:国家标准

标准属性:推荐性

标准状态:现行

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国家标准《300mm半导体设备装载端口要求》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。

主要起草单位上海微电子装备(集团)股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备(上海)股份有限公司、漳州市太龙照明工程有限公司、深圳市埃芯半导体科技有限公司、苏州镁伽科技有限公司、中电鹏程智能装备有限公司。

主要起草人胡松立 、李运锋 、吴怡然 、曹可慰 、赵俊莎 、周晓锋 、李殿浦 、武小娟 、朱明 、李英 、张宝帅 、洪峰 、张志勇 、乔志新 、王鸣昕 。

基础信息

标准号:GB/T 44375-2024发布日期:2024-08-23实施日期:2025-03-01标准类别:基础中国标准分类号:L97国际标准分类号:31.260 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委

起草单位

上海微电子装备(集团)股份有限公司北京北方华创微电子装备有限公司漳州市太龙照明工程有限公司苏州镁伽科技有限公司中国电子技术标准化研究院中微半导体设备(上海)股份有限公司深圳市埃芯半导体科技有限公司中电鹏程智能装备有限公司

起草人

胡松立李运锋赵俊莎周晓锋朱明李英张志勇乔志新吴怡然曹可慰李殿浦武小娟张宝帅洪峰王鸣昕

相近标准(计划)

SJ/T 11761-2020 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范GB/T 29504-2013 300mm 硅单晶YD/T 2813-2015 基于端口控制协议(PCP)扩展的LAFT6端口区间集扩展协议技术要求GB/T 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片GB/T 29508-2013 300mm 硅单晶切割片和磨削片SJ/T 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求YD/T 2934-2015 端口控制协议(PCP)技术要求YD/T 4799-2024 端口控制协议代理(PCP proxy)技术要求YD/T 2809-2015 基于端口信息下发的双栈接入技术要求YD/T 3233-2017 支持分配端口段的DHCPv4选项技术要求

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数据严谨精准

提供精准的数据支持,建立了完善的数据管理系统,对每个检测项目数据进行详细记录与归档,以便随时查阅追溯。

独立公正立场

严格按照法律法规和行业标准行事,不受任何外部干扰,真实反映实际情况,出具的检测报告具有权威性和公信力。

服务领域广泛

服务领域广泛,涉及众多行业。食品、环境、医药、化工、建筑、电子、机械等领域,都能提供专业检测服务。

CMA/CNAS资质

微析技术研究院已经过严格的审核程序,同时获得了CMA/CNAS双资质认证,是一家专业正规的三方检测中心。

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提供精准的数据支持,建立了完善的数据管理系统,对每个检测项目数据进行详细记录与归档,以便随时查阅追溯。

独立公正立场

严格按照法律法规和行业标准行事,不受任何外部干扰,真实反映实际情况,出具的检测报告具有权威性和公信力。

服务领域广泛

服务领域广泛,涉及众多行业。食品、环境、医药、化工、建筑、电子、机械等领域,都能提供专业检测服务。

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