GB/T 32816-2016《硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范》
Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process
标准类型：国家标准
标准属性：推荐性
标准状态：现行
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国家标准《硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、北京青鸟元芯微系统科技有限公司。
主要起草人张大成 、杨芳 、李海斌 、王玮 、何军 、黄贤 、刘冲 、刘伟 、邹赫麟 、田大宇 、姜博岩 。
基础信息
标准号：GB/T 32816-2016发布日期：2016-08-29实施日期：2017-03-01标准类别：基础中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委
起草单位
北京大学大连理工大学中机生产力促进中心北京青鸟元芯微系统科技有限公司
起草人
张大成杨芳何军黄贤邹赫麟田大宇李海斌王玮刘冲刘伟姜博岩
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严格按照法律法规和行业标准行事，不受任何外部干扰，真实反映实际情况，出具的检测报告具有权威性和公信力。
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服务领域广泛，涉及众多行业。食品、环境、医药、化工、建筑、电子、机械等领域，都能提供专业检测服务。
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